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| (点击题目 可以在互 联 网中搜索该题 目的相关内容) 日期：2007-8-3 0:01:23 来源： 作者： 点击： | |
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半导体公司采用欧姆龙的PLC和视觉传感器通过对拉升零界点直径的控制达到其工艺要求。 视觉传感器采用F160-10E的控制器及F150-S1A普通型摄像机，其F150-S1A普通型摄像机设置于炉体上方，镜头对准于零界点直径（由于零界点直径亮度较强，明暗对比度明显，因此无需加光源，若对比度不明显需加光源）。通过摄像机对物体的观察把数据传入F160-10E控制器特定的数据区内，然后经串行RS232通信线把数据传入PLC的数据区，其通讯协议为Host Link协议进行数据传送。  PLC和视觉传感器的通讯格式要一致。 若无需从传感器中读取数据，可直接使用外部的开关量来进行对视觉传感器对其进行控制。  海纳单晶炉控制主要分为手动控制，真空系统，回路控制，CCD直径。手动控制可分为晶转(round/min)，晶升(mm/hour)，埚升(mm/hour)，埚转(round/hour)。 晶转由伺服电机+编码器+伺服驱动（200W）进行恒定速度控制，埚转由伺服电机+编码器+伺服驱动（200W）进行恒定速度控制，晶升由伺服电机+编码器+伺服驱动（200W），编码器每转六圈，其晶升就上升一格（1厘米）。 埚升由伺服电机+编码器+伺服驱动（200W），编码器每转六圈，其埚升就上升一格（1厘米）。真空系统：显示炉内压力，流量阀流量。 回路控制分为温度控制，直径控制，升温控制，埚比控制。 温度控制：当打到手动时，电加热管的功率大小由设定功率来控制，即电加热管由设定的功率来运行。若打到自动时，功率的大小由实际温度来控制，即当温度上升到设定温度时，其加热管就由该温度下的功率运行。 直径控制：当打到手动时，晶升速度有晶升速度设定值来控制，即晶升速度由设定晶升速度来运行，若打到自动时，晶升速度由实际直径来控制，即当视觉传感器反馈回来的直径达到设定的直径时，其晶升速度就由该直径下的速度进行运行。 升温控制：自动运行下，晶升实际值和晶升期望值（根据工艺计算出来的理想值）来进行比较。 埚比控制：通过对埚比的变化来进行对埚升电机的控制，从而达到工艺要求，埚升=晶升*埚比。 CCD直径：可进行对视频的转化功能，从中可选用红外线传感器或视觉传感器。 通过视觉对直径（精度0.1）的数据记录，然后反映到PLC中进行工艺上的拉升控制。 |
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